電容式傳感器不但廣泛用于位移、振動、角度、加速度等機械量的精密測量，而且還逐步地擴大到用于壓力、差壓、液位、物位或成份含量等方面的測量。

電容式傳感器應用中的注意事項
      (1) 克服寄生電容的影響
      電容式傳感器由于受結構與尺寸的限制，其電容量都很小(pF到幾十pF)，屬于小功率、高阻抗器件，因此極易外界干擾，尤其是受大于它幾倍、幾十倍的、且具有隨機性的電纜寄生電容的干擾，它與傳感器電容相并聯(lián)，嚴重影響感器的輸出特性，甚至會淹沒有用信號而不能使用。消滅寄生電容影響，是電容式傳感器實用的關鍵。
      (2) 克服邊緣效應的影響
      實際上當極板厚度h與極距δ之比相對較大時，邊緣效
應的影響就不能忽略；邊緣效應不僅使電容傳感器的靈敏度降低，而且產生非線性。
      (3) 克服靜電引力的影響
      電容式傳感器兩極板間因存在靜電場，而作用有靜電引力或力矩。靜電引力的大小與極板間的工作電壓、介電常數、極間距離有關。通常這種靜電引力很小，但在采用推動力很小的彈性敏感元件情況下，須考慮因靜電引力造成的測量誤差。
      (4) 溫度影響
      環(huán)境溫度的變化將改變電容傳感器的輸出相對被測輸入量的單值函數關系，從而引入溫度干擾誤差。溫度影響主要包括溫度對結構尺寸和對介質的影響兩方面。