濕度傳感器的特性參數(shù)主要有：濕度量程、靈敏度、溫度系數(shù)、響應時間、濕滯回差、感濕特征量-相對濕度特性曲線等。 

　　(1) 濕度量程：它是指濕度傳感器能夠較精確測量的環(huán)境濕度的最大范圍。由于各種濕度傳感器所使用的材料及依據(jù)的工作原理不同，其特性并不都能適用于0～100%RH的整個相對濕度范圍。
　　(2) 感濕特征量-相對濕度特性曲線： 濕度傳感器的輸出變量稱為其感濕特征量， 如電阻、電容等。 濕度傳感器的感濕特征量隨環(huán)境濕度的變化曲線， 稱為傳感器的感濕特征量-環(huán)境濕度特性曲線， 簡稱為感濕特性曲線。 性能良好的濕度敏感器件的感濕特性曲線， 應有寬的線性范圍和適中的靈敏度。
　　(3) 靈敏度：濕度傳感器的靈敏度即其感濕特性曲線的斜率。大多數(shù)濕度敏感器件的感濕特性曲線是非線性的， 因此尚無統(tǒng)一的表示方法。 較普遍采用的方法是用器件在不同環(huán)境濕度下的感濕特征量之比來表示。
　　(4) 濕度溫度系數(shù)： 它定義為在器件感濕特征量恒定的條件下，該感濕特征量值所表示的環(huán)境相對濕度隨環(huán)境溫度的變化率， 即

　　因此，環(huán)境溫度將造成測濕誤差。 例如，α=0.3％RH/℃時， 環(huán)境的溫度變化20℃，將引起6％RH的測濕誤差。

　　(5) 響應時間： 它表示當環(huán)境濕度發(fā)生變化時， 傳感器完成吸濕或脫濕以及動態(tài)平衡過程所需時間的特性參數(shù)。 響應時間用時間常數(shù)τ來定義， 即感濕特征量由起始值變化到終止值的0.632倍所需的時間?？梢?， 響應時間是與環(huán)境相對濕度的起、止值密切相關。
　　(6) 濕滯回線和濕滯回差：一個濕度傳感器在吸濕和脫濕兩種情況下的感濕特性曲線不相重復，一般可形成為一回線，這種特性稱為濕滯特性； 其曲線稱為濕滯回線。